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发布时间: 2024-06-14 06:41:42
一种高致密铬钨合金靶材的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明属于粉末冶金材料制备技术领域，特别涉及一种高致密铬钨合金靶材的制备方法。
【背景技术】
[0002]随着材料科学的不断发展，材料的结构向二维方向发展为充分发挥材料潜能提供了一种重要途径。薄膜科学是开发新材料和新器件非常重要的领域。高技术材料由体材向薄膜转移，从而使镀膜器件迅速发展起来。
[0003]靶材是表面镀膜技术中的关键材料，靶材性能的优劣直接影响薄膜性能的好坏，而靶材的性能主要由靶材生产工艺决定。目前靶材生产方法主要有熔炼法和粉末冶金法。熔炼工艺能生产多数金属靶材，但少数靶材由于合金成分熔点差距太大、靶材要求严格控制晶粒尺寸等因素而只能采用粉末冶金工艺制备。
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