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发布时间: 2024-06-14 06:41:37
在DLC（Diamond-Like Carbon）镀膜过程中，常用的靶材包括碳、氮和硅。碳靶材用于提供膜的碳元素，氮靶材用于提供膜的氮元素，而硅靶材用于提供膜的硅元素。
这些靶材通过物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）等技术，将原子或分子沉积在基材表面，形成DLC镀膜。
这些靶材的选择和比例可以根据所需的膜性质和应用来进行调整，以实现所需的硬度、摩擦系数、抗腐蚀性等特性。
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